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力学研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
专著 [1]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
2003 [1]
2001 [1]
学科主题
力学 [4]
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微/纳米力学测试技术及其应用
专著
北京:机械工业出版社, 2005
张泰华编著
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浏览/下载:1634/65
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提交时间:2007/07/13
等离子体电解沉积的研究现状
期刊论文
力学进展, 2004, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 237-250
作者:
关永军
;
夏原
收藏
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浏览/下载:2605/239
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提交时间:2007/06/15
等离子体电解沉积
纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用
期刊论文
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7/8, 页码: 212-214
作者:
张泰华
收藏
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浏览/下载:1806/161
  |  
提交时间:2007/06/15
七氟丁酸酐有序超薄膜的制备与结构
期刊论文
化学学报=Acta Chimica Sinica, 2001, 卷号: 59, 期号: 11, 页码: 1894-1897
作者:
任嗣利
;
杨生荣
;
王金清
;
齐尚奎
;
赵亚溥
收藏
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浏览/下载:1127/78
  |  
提交时间:2007/06/15
薄膜
自组装单分子层膜
七氟丁酸酐
ultra-thin film
聚乙烯亚胺
HFBA
微电子机械系统
PEI
MEMs
SAMs
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