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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [2]
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学科主题:光学薄膜
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磁控反应溅射法制备渐变折射率薄膜的模型分析
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4842, 4845
沈自才
;
邵建达
;
王英剑
;
范正修
收藏
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提交时间:2009/09/22
渐变折射率
gradient-index
磁控反应溅射
reactive magnetron sputtering
模型
modeling
反应溅射法
薄膜
制备
模型分析
磁控
变化规律
反应气体
双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 295, 301
沈自才
;
王英剑
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:740/116
  |  
提交时间:2009/09/22
近似
inhomogeneous coatings
非均匀
co-evaporation
相等
modeling
单分子
沉积速率
介质膜
薄膜
大小
堆积
模型分析
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