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科研机构
上海光学精密机械研究... [8]
内容类型
期刊论文 [8]
发表日期
2008 [3]
2006 [3]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [8]
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学科主题:光学薄膜
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真空紫外光学薄膜及薄膜材料
期刊论文
激光与光电子学进展, 2008, 卷号: 45, 期号: 1, 页码: 57, 64
薛春荣
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1535/222
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提交时间:2009/09/22
基于平板夹具的电子束蒸发沉积薄膜中的挖坑效应分析
期刊论文
真空, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 12, 16
夏志林
;
赵元安
;
黄才华
;
薛亦渝
;
杨芳芳
;
郭培涛
收藏
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浏览/下载:1193/185
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提交时间:2009/09/22
电子束蒸发镀膜速率控制
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1591, 1594
王善成
;
方明
;
易葵
;
邵淑英
;
范正修
收藏
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浏览/下载:897/190
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提交时间:2009/09/22
薄膜
薄膜工艺
速率控制
比列积分微分控制
Basic principles
Closed-loop controls
Control parameters
Evaporation characteristics
Film process
Improved processes
Proportion integral differential
Rate control
Rate controls
制备工艺条件对薄膜微结构的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊
;
申雁鸣
;
沈健
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:854/85
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提交时间:2009/09/22
薄膜
X射线衍射
晶相结构
迁移率
扩散激活能
电子束蒸发氧化锆薄膜的粗糙度和光散射特性
期刊论文
物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 6, 页码: 3124, 3127
侯海虹
;
孙喜莲
;
申雁鸣
;
邵建达
;
范正修
;
易葵
收藏
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浏览/下载:930/102
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提交时间:2009/09/22
氧化锆
ZiO(2) coatings
表面粗糙度
surface roughness
标量散射
scalar scattering
电子束蒸发
electron beam evaporation
2μm波段激光薄膜的研制
期刊论文
激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 59, 63
晋云霞
;
范瑞瑛
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:870/101
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提交时间:2009/09/22
薄膜
2μ波段
激光晶体
医用激光
高反射率193nm Al2O3/MgF2反射膜的实验研究
期刊论文
中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 5, 页码: 685, 688
尚淑珍
;
易葵
;
侯海虹
;
张大伟
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:489/76
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提交时间:2009/09/22
薄膜
高反膜
光学常数
Al2O3
MgF2
thin films
HR mirrors
optical constants
Al2O3
MgF2
全电介质脉宽压缩光栅的研究进展
期刊论文
激光与光电子学进展, 2005, 卷号: 42, 期号: 1, 页码: 32, 36
孔伟金
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1108/116
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提交时间:2009/09/22
衍射光栅
inertial confinement fusion
脉宽压缩
chirped-pulse amplification system
脉冲压缩
all dielectric pulse compressor gratings
啁啾脉冲放大
dielectric film system
超短脉冲
激光器
电介质
多层膜
相互作用
物质
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