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磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Al透明导电薄膜 期刊论文
山东大学学报:自然科学版, 1998, 期号: 03
作者:  杨田林[1];  许心光[2];  张德恒[3];  马瑾[1];  马洪磊[1]
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