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石英晶圆深微孔加工设备及方法 专利
专利号: CN101450788, 申请日期: 2007-12-05, 公开日期: 2009-06-10, 2010-11-26
作者:  李全宝;  罗小光;  刘茂哲;  高超群;  景玉鹏
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