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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2006     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 王彬   收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/06 磁珠  MEMS  微流体  模拟分析  平面线圈  塑性材料微加工     基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究 期刊论文 微细加工技术, 2006, 页码: 51-54 作者:  杜立群;  秦江;  刘海军;  刘冲;  于同敏 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 微电铸  UV-LIGA工艺  SU-8光刻胶  微注塑模具   基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究 期刊论文 高技术通讯, 2006, 卷号: 16, 页码: 368-371 作者:  肖日松;  杜立群;  刘冲;  刘海军;  秦江 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/27 微型模具  MEMS  UV-LIGA  光刻  微电铸  湿法刻蚀