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长春光学精密机械与物... [1]
合肥物质科学研究院 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2004 [3]
学科主题
薄膜材料 [1]
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发表日期:2004
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磁过滤阴极弧等离子体法氮化钛薄膜的制备及其应用性能的研究
学位论文
理学博士: 中国科学院研究生院, 2004
张玉娟
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2014/04/14
磁过滤阴极弧
等离子体
高质量薄膜
机械性能
电化学腐蚀性能
应用
机理
TiN
Filtered cathode arc plasma
High quality thin films
Mechanical properties
Electrochemistry corrosion
Application
Mechanism
PECVD法制备包埋硅量子点的氮化硅薄膜及其发光特性研究
学位论文
硕士, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2004
王颖
收藏
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浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2012/03/21
氮化硅
量子点
等离子体增强化学气相沉积
悬键
发光
双光束激励制备纳米氮化硅粉体
期刊论文
硅酸盐学报, 2004, 卷号: 032
-
收藏
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2020/10/26
氮化硅
激光诱导化学气相沉积法
双光束激励
游离硅
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