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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2002    专题：合肥物质科学研究院    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 静电加速器高频离子源引出电极的光学设计 期刊论文 真空科学与技术, 2002, 卷号: 022 作者:  余增亮;  卢超;  詹福如 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/10/26 静电加速器  高频离子源  引出电极  离子光学设计   射频ICP离子源设计研究 期刊论文 真空科学与技术, 2002, 卷号: 022 - 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2020/10/26 射频ICP  离子源  设计  射频匹配网络  感应耦合等离子体  离子流  均匀性  中性化