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上海微系统与信息技术... [2]
西安交通大学 [1]
高能物理研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
1999 [4]
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发表日期:1999
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双框架微机械陀螺制备关键技术
期刊论文
功能材料与器件学报, 1999, 期号: 01
林爱民
;
牛蒙年
;
解健芳
;
杨根庆
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/29
双框架微机械陀螺及其准LIGA制备技术的研究[D]
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所,1999, 1999
林爱民
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/06
利用LIGA技术制造夹钳
期刊论文
微细加工技术, 1999, 期号: 3, 页码: 54-57
作者:
伊福廷
;
唐鄂生
;
张菊芳
;
晋明
;
冼鼎昌
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2015/12/07
LIGA技术
微机械
微机器人
微机械的制造技术及应用
期刊论文
机械制造, 1999, 期号: 8, 页码: 20-21
-
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提交时间:2020/01/07
微机械
硅
LIGA技术
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