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科研机构
半导体研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
专利 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
1998 [2]
学科主题
半导体化学 [1]
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发表日期:1998
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Article comprising an improved QC laser
专利
专利号: EP0877454A1, 申请日期: 1998-11-11, 公开日期: 1998-11-11
作者:
BAILLARGEON, JAMES NELSON
;
CAPASSO, FEDERICO
;
CHO, ALFRED YI
;
FAIST, JEROME
;
GMACHI, CLAIRE F.
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提交时间:2019/12/31
Solid-phase crystallization and dopant activation of amorphous silicon films by pulsed rapid thermal annealing
期刊论文
applied surface science, 1998, 卷号: 135, 期号: 1-4, 页码: 205-208
Wang YQ
;
Liao XB
;
Ma ZX
;
Yue GZ
;
Diao HW
;
He J
;
Kong GL
;
Zhao YW
;
Li ZM
;
Yun F
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2010/08/12
amorphous silicon
solid-phase crystallization
rapid thermal annealing
LPCVD POLYCRYSTALLINE SILICON
LOW-TEMPERATURE
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
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