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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：1997     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 LIGA 技术中的 X 射线掩膜 期刊论文 仪表技术与传感器, 1997, 期号: 03, 页码: 13-14+19 梁静秋; 姚劲松; 王飞 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/11 LIGA技术  掩膜  光刻   同步辐射X射线深度光刻实验 期刊论文 微细加工技术, 1997, 期号: 2, 页码: 31-33 作者:  伊福廷;  习复;  唐鄂生;  郑宏卫;  晋明 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/12/07 LIGA技术  同步辐射  X射线光刻