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科研机构
北京大学 [1]
复旦大学上海医学院 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2013 [1]
2010 [1]
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Synthesis of CsCl-type single-phase RuSi under shock compression
期刊论文
high pressure research, 2013
Li, Xuhai
;
Xu, Liang
;
Cao, Xiuxia
;
Meng, Chuanmin
;
Wang, Chunhai
;
Zhu, Wenjun
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提交时间:2015/11/11
ruthenium silicide
shock compression
reaction synthesis
reconsolidation
SILICIDES
SEMICONDUCTOR
Texture of atomic layer deposited ruthenium
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 10
作者:
Musschoot, J.
;
Xie, Q.
;
Deduytsche, D.
;
De Keyser, K.
;
Longrie, D.
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提交时间:2019/12/19
Ruthenium
Atomic layer deposition
Texture
Silicide
Ammonia plasma
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