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Wafer-level fabrication of low power consumption integrated alcohol microsensor
期刊论文
MICRO & NANO LETTERS, 2019, 卷号: 14, 页码: 11-16
作者:
Wang, Hairong
;
Wang, Mengya
;
Lei, Weitao
;
Chen, Xiaowei
;
Huang, Hao
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2019/11/19
nanocomposites
electrodes
membranes
alcohol detection
sputter deposition
organic compounds
suspensions
gas sensors
temperature sensors
power 39
microsensors
microelectromechanical systems micromachining technology
wafer-level sensor chips
electrochemical electrodes
micromachining
TiO2-SnO2
magnetron sputtering
temperature measurement
power consumption
suspended membrane
power measurement
0 mW
nanosensors
titanium compounds
low power consumption integrated alcohol microgas sensor
microheater
wafer-level fabrication
tin compounds
Low-energy hydrothermal fabrication of α-Ni(OH) 2 nanosheet arrays as efficient electrodes for sustainable supercapacitors
期刊论文
Sustainable Materials and Technologies, 2019, 卷号: 20
作者:
Li L.
;
Xia G.
;
Yu W.
;
Lu K.
;
Zhang A.
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/11
Binder-free
Hydrothermal
Low temperature
Nanosheet arrays
Solution deposition
Supercapacitors
Eco-friendly, low-temperature solution production of oxide thin films for high-performance transistors via infrared irradiation of chloride precursors
期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2019, 卷号: 45, 期号: 8, 页码: 9829-9834
作者:
Wang, Sumei
;
Yao, Shushan
;
Lin, Jiangshan
;
Xia, Guodong
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/11
Thin films
Metal oxides
Low-temperature
Thin-film transistor
Sol-gel
deposition
Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic-layer deposition
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2019, 卷号: 34, 期号: 10
作者:
Ma, Pengfei
;
Guo, Wenhao
;
Sun, Jiamin
;
Gao, Jiacheng
;
Zhang, Guanqun
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/11
ultrathin Al2O3
tunneling current
low temperature
atomic-layer
deposition
Chromium carbide coatings produced on ductile cast iron QT600-3 by thermal reactive diffusion in fluoride salt bath: Growth behavior, microstructure evolution and kinetics
期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2019, 卷号: 45, 期号: 1, 页码: 1196—1201
作者:
Su, XZ
;
Zhao, SF
;
Sun, H
;
Yang, XM
;
Zhang, P
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2019/12/30
STEEL SUBSTRATE
LAYER THICKNESS
LOW-TEMPERATURE
DEPOSITION
新型空间滑动电接触材料的制备与摩擦学性能的研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
谢博华
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2021/04/13
磁控溅射技术
低温沉积
Au薄膜
MoS2/Ti薄膜
载流摩擦磨损
Magnetron Sputtering Technology
Low-Temperature Deposition
Au Film
MoS2/Ti Film
Current-Carrying Friction and Wear
Low temperature deposited Ag films exhibiting highly preferred orientations
期刊论文
Materials Letters, 2018, 卷号: 213, 期号: 0, 页码: 178-180
作者:
Hu M(胡明)
;
Gao XM(高晓明)
;
Sun JY(孙嘉奕)
;
Sun JY(孙嘉奕)
;
Liu WM(刘维民)
收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2018/01/07
Physical Vapour Deposition
Crystal Structure
Thin Films
Low Temperature
Low-Temperature Cu-Cu Bonding Using Silver Nanoparticles Fabricated by Physical Vapor Deposition
期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2018, 卷号: 47, 页码: 988-993
作者:
Wu, Zijian
;
Cai, Jian
;
Wang, Junqiang
;
Geng, Zhiting
;
Wang, Qian
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/02
3D integration
Cu-Cu bonding
low temperature
silver nanoparticles
physical vapor deposition
Barrier mechanism of multilayers graphene coated copper against atomic oxygen irradiation
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 444, 页码: 28-35
作者:
Xue, Qunji
;
Pu, Jibin
;
Ren, Siming
;
Zhang, Haijing
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/04
Low-earth-orbit
Chemical-vapor-deposition
High-quality
Space
Films
Coatings
Supercapacitors
Temperature
Oxidation
Corrosion
Barrier mechanism of multilayers graphene coated copper against atomic oxygen irradiation
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 444, 页码: 28-35
作者:
Xue, Qunji
;
Pu, Jibin
;
Ren, Siming
;
Zhang, Haijing
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2018/12/04
Low-earth-orbit
Chemical-vapor-deposition
High-quality
Space
Films
Coatings
Supercapacitors
Temperature
Oxidation
Corrosion
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