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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文 现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2013/10/05 半导体制造  过程控制  R2R控制方法  指数加权移动平均  预测控制   CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593 作者:  王亮;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/12/28 化学机械研磨  R2R控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制