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氢化物气相外延 GaN 的微观结构及其高电压 IV 特性研究
无文献类型
作者:
金浩妮
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提交时间:2019/11/19
HVPE
GaN
微观结构
高电压 IV
陷阱态
大尺寸HVPE反应器寄生沉积的数值模拟与优化
学位论文
: 江苏大学, 2017
作者:
黄业[1]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/24
半导体材料
氮化镓膜
气相沉积
HVPE工艺
大尺寸HVPE反应器寄生沉积的数值模拟研究
期刊论文
人工晶体学报, 2017, 期号: 04, 页码: 662-667+674
作者:
黄业[1]
;
左然[2]
;
唐斌龙[3]
;
张红[4]
;
刘鹏[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/24
HVPE反应器
GaN
寄生沉积
数值模拟
AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
韩东岳
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2016/06/03
AlN
HVPE
应力
流场
Influence of thickness on strain state and surface morphology of AlN grown by HVPE
期刊论文
JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2016, 卷号: 37
作者:
Sun Maosong[1]
;
Zhang Jicai[2]
;
Huang Jun[3]
;
Li Xuewei[4]
;
Wang Linjun[5]
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/04/26
AlN
HVPE
surface morphology
strain state
AlN thin film grown on different substrates by hydride vapor phase epitaxy
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2016, 卷号: 436, 页码: 62-67
作者:
Sun, M. S.[1]
;
Zhang, J. C.[2]
;
Huang, J.[3]
;
Wang, J. F.[4]
;
Xu, K.[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/26
AIN
AFM
XRD
HVPE
蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
孔苏苏
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2015/06/02
氮化铝 HVPE 应力
Progress in bulk GaN growth
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2015, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 16
作者:
Xu, K(徐科)
;
Wang, JF(王建峰)
;
Ren, GQ(任国强)
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2015/12/31
nitride semiconductor
bulk GaN
hydride vapor phase epitaxy (HVPE)
dislocation
Evolution of the surface morphology of AlN epitaxial film by HVPE
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2015, 卷号: 409, 期号: 0, 页码: 100-104
作者:
Gong, XJ(弓晓晶)
;
Xu, K(徐科)
;
Huang, J(黄俊)
;
Liu, T
;
Ren, GQ(任国强)
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2015/01/16
Surface morphology
AlN
AFM
HVPE
大尺寸HVPE反应器托盘温度的数值模拟研究
期刊论文
人工晶体学报, 2015, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 1849-1854
作者:
赵江[1]
;
左然[2]
;
刘鹏[3]
;
童玉珍[4]
;
张国义[5]
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/24
HVPE反应器
数值模拟
温场
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