QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Finite element analysis on factors influencing the clamping force in an electrostatic chuck 期刊论文 2016, 2016 王兴阔; 程嘉; 王珂晟; 杨义勇; 孙钰淳; 曹明路; 季林红; WangXingkuo; ChengJia; WangKesheng; YangYiyong; Sun Yuchun; Cao Minglu; Ji Linhong 收藏  |  浏览/下载：3/0 中心组合设计法在静电吸盘绝缘层结构优化中的应用 期刊论文 2016, 2016 李春光; 黄利平; 田凌; 张泽明; LI Chun-guang; HUANG Li-ping; TIAN Ling; ZHANG Ze-ming 收藏  |  浏览/下载：3/0 Analysis of processing chamber flow field characteristics for an ICP etcher based on regression orthogonal design 期刊论文 2010, 2010 Cheng Jia; Zhu Yu; Duan Guanghong; Wang Chunhong 收藏  |  浏览/下载：4/0