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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Simulation of Discharge Characteristics for the Plasma Etching of Large Area SiO2 Substrates 期刊论文 JOURNAL OF RUSSIAN LASER RESEARCH, 2020, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 258-267 作者:  Zhang JW(张景文) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2020/11/30 reactive ion etching  capacitive coupled discharge  fluid simulation  discharge parameter  large area SiO2 substrates  plasma radial uniformity   Simulation of Discharge Characteristics for the Plasma Etching of Large Area SiO2 Substrates 期刊论文 JOURNAL OF RUSSIAN LASER RESEARCH, 2020, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 258-267 作者:  Zhang, Jingwen;  Fan, Bin;  Li, Zhiwei;  Gao, Guohan;  Li, Bincheng 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2021/05/11 Reactive Ion Etching  Capacitive Coupled Discharge  Fluid Simulation  Discharge Parameter  Large Area Sio2 Substrates  Plasma Radial Uniformity   Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O-2 inductively coupled plasma 期刊论文 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2019, 卷号: 125 作者:  Xue, Chan;  Gao, Fei;  Wen, De-Qi;  Wang, You-Nian 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 CCD cameras  Charge coupled devices  Electric discharges  Electrons  Excited states  Impact ionization  Inductively coupled plasma  Plasma simulation  Radio waves, Bi-modal structures  Capacitive couplings  Discharge conditions  Electron-impact excitation  Experimental investigations  Inductive couplings  Intensified charge coupled device camera  Radio frequencies, Frequency modulation