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北京大学 [1]
兰州大学 [1]
电子学研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2007 [2]
2005 [1]
1995 [1]
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谐振式微加速度传感器的有限元分析
期刊论文
传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 96-100
陈健
;
陈德勇
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
非完全匹配的双端固定音叉
扫描近场光学显微镜光纤探针的制作和音叉探测系统的研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
罗继全
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
扫描近场光学显微镜
自动腐蚀光纤探针技术
光纤探针
音叉系统
弱信号处理电路
硅微机械音叉式谐振器
期刊论文
仪器仪表学报, 2005
钟莹
;
张国雄
;
郝一龙
;
贾玉斌
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
微机电系统 音叉 谐振器 加速度计 体硅工艺
音叉普适开折的若干动力学性质
期刊论文
固体力学学报, 1995, 期号: 4, 页码: 7
作者:
朱正佑
;
丁睿
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/07/28
音叉分支
普适开折
动力系统
模态跳跃
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