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科研机构
光电技术研究所 [5]
内容类型
学位论文 [5]
发表日期
2018 [1]
2016 [1]
2015 [1]
2009 [2]
学科主题
光学工程 [1]
物理学::光学 [1]
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基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究
学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
刘洪超
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2018/05/31
衍射极限
表面等离子体
超材料
超分辨
干涉光刻
接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
张伟
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/12/30
表面等离子体光刻,衍射极限,工作距,离轴照明,贝塞尔光束,双曲色散超材料
局域表面等离子体纳米光刻原理与方法研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
王耀辉
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2015/07/29
局域表面等离子体
纳米光刻
超衍射聚焦
Bowtie小孔
金属-介质-金属结构
基于自组装PS球阵列的超衍射光刻
学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
李淑红
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2013/11/19
纳米结构
微细加工
光刻
自组装
传导波
倏逝波
表面等离子体
负折射率材料
超衍射光刻
表面等离子体超衍射分辨力光刻技术研究
学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
杨勇
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浏览/下载:70/0
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提交时间:2013/11/19
表面等离子体
倏逝波
超衍射分辨力
纳米光刻
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