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科研机构
光电技术研究所 [11]
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [12]
发表日期
2019 [1]
2016 [10]
2014 [1]
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双目视差测距调焦在光测设备上的应用分析
期刊论文
半导体光电, 2019, 卷号: 40, 期号: 1, 页码: 134-139
作者:
王帆[1,2]
;
张孟伟[1]
;
杜俊峰[1]
;
任戈[1,2]
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提交时间:2021/05/06
双目视差
测距调焦
光电跟踪测量
调焦原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/06/15
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
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调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究
期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
作者:
周清华
;
胡松
;
杜靖
;
王建
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提交时间:2018/10/29
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调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
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