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| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者: 孙诗壮; 金春水; 喻波; 郭涛; 姚舜
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2021/07/06
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| 雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作 期刊论文
航空制造技术, 2019, 卷号: 62, 页码: 95-100
作者: 李晓军; 吕辉; 朱和卿; 赵雯; 杜立群
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 高精度AZ厚胶光刻及其在射频同轴传输线制作中应用 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 李爰琪
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 高精度AZ厚胶光刻及在微型射频同轴器制作中的应用 期刊论文
航空制造技术, 2018, 卷号: 61, 页码: 26-31
作者: 杜立群; 李爰琪; 齐磊杰; 李晓军; 朱和卿
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 生物颗粒散射光波导微流控系统研究 学位论文
2018
作者: 康森柏
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/11/26
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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
收藏 | 浏览/下载：39/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
收藏 | 浏览/下载：48/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 环形万向MEMS惯性开关制作工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者: 陶友胜
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/03
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| 基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制 期刊论文
航空制造技术, 2017, 页码: 24-29
作者: 杜立群; 陶友胜; 李爰琪; 齐磊杰
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者: 吴义恒; 鹿国庆; 李伶俐; 卢启鹏
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2017/09/17
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