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| 金刚石砂轮磨削贴膜硅片崩边的研究 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2019, 卷号: 39, 页码: 66-69
作者: 张倩; 董志刚; 刘海军; 王紫光; 康仁科
  收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 陶瓷结合剂细粒度金刚石砂轮磨削性能研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 张小川
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 电容式微加工超声传感器关键技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
王小青
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2017/06/02
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| 磨削减薄硅片变形测量与残余应力计算 学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者: 陈修艺
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/03
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| 基于压电雾化喷涂的光刻胶涂覆工艺及其应用研究 期刊论文
黑龙江科学, 2017, 页码: 98-100
作者: 翟荣安[1]; 汝长海[2]; 陈瑞华[3]; 朱军辉[4]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/04/24
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| 金刚石砂轮磨削单晶硅片面形变化规律 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2017, 卷号: 37, 页码: 6-10
作者: 陈修艺; 刘海军; 朱祥龙; 康仁科; 董志刚
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 一种提升长期存储半导体硅片产品良率的工艺处理方法 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2018
作者: 唐昭焕; 杨发顺; 马奎; 林洁馨; 傅兴华
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/02
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| 纳米级超精密磨削IC硅片的金刚石砂轮材料研究 学位论文
: 上海大学, 2016
作者: 李克华[1]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/04/26
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| 工件旋转法磨削硅片的磨粒切削深度模型 期刊论文
机械工程学报, 2016, 卷号: 52, 页码: 86-93
作者: 高尚; 王紫光; 康仁科; 董志刚; 张璧
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 单磨块恒力磨削单晶硅片工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2016
作者: 于月滨
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/09
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