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力学研究所 [1]
北京大学 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2003 [1]
2001 [2]
1993 [1]
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基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究
学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2003
作者:
郭占社
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/21
电磁型平面微电机
Liga工艺
硅深刻蚀工艺
非接触式力矩测试仪
硅基MEMS技术
期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 523-526
作者:
郝一龙
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浏览/下载:1629/103
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提交时间:2010/05/03
微电子机械系统
牺牲层
体硅工艺
深刻蚀
硅基MEMS技术
期刊论文
机械强度, 2001
郝一龙
;
张立宪
;
李婷
;
张大成
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
微电子机械系统 牺牲层 体硅工艺 深刻蚀
反应离子深刻蚀的模型模拟与深刻蚀的工艺研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1993
姜建东
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/06
反应离子深刻蚀
模型模拟
深刻蚀硅
工艺
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