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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐
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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者: 张璐; 向阳
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| 基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 魏海松
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| 大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术 期刊论文 中国光学, 2016, 期号: 1, 页码: 130-136 作者: 王孝坤
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| 波像差的梯度偏离值评价方法(英文) 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 70-75 作者: 宋淑梅
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| 成像光学系统的相对波像差梯度偏离值评价法 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3329-3334 作者: 宣斌
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者: 李晶
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| 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文 红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259 作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者: 吴飞斌
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| 空间光学遥感器检测中大口径平行光管应用技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2014 李响
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:71/0  |  提交时间:2015/05/03
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