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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 魏海松
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 1, 页码: 130-136
作者: 王孝坤
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 波像差的梯度偏离值评价方法（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 70-75
作者: 宋淑梅
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 成像光学系统的相对波像差梯度偏离值评价法 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3329-3334
作者: 宣斌
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李晶
收藏 | 浏览/下载：66/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：124/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 空间光学遥感器检测中大口径平行光管应用技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2014
李响
收藏 | 浏览/下载：71/0 | 提交时间：2015/05/03
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