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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03
作者: 戴明; 金夕雅; 王成; 王方雨; 孙强
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2019/12/05
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| 反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 203-208
作者: 王方雨; 孙强; 戴明; 刘昕辉; 王成
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 鱼眼镜头后光组初值设计 期刊论文
光学仪器, 2018, 页码: 54-60
作者: 陈子粤[1]; 吕丽军[2]
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2019/04/22
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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 魏海松
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑
收藏 | 浏览/下载：49/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 鱼眼镜头初始结构的设计 期刊论文
光学学报, 2017, 卷号: 37, 页码: 0208001
作者: 吕丽军[1]; 吴学伟[2]
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2019/04/24
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| 鱼眼镜头初始结构的设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 105-114
作者: 吕丽军[1]; 吴学伟[2]
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/04/24
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