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| 射频热等离子体制备球形氧化铝粉末的数值模拟及实验研究 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 550-556
作者: 陈文波; 陈伦江; 刘川东; 程昌明; 童洪辉
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| 射频热等离子体反应器模拟及优化 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者: 何家平
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| 热丝与射频等离子体化学气相沉积复合技术制备多晶硅薄膜及其性能研究 学位论文
: 大连理工大学, 2012
作者: 孙晓飞
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| HWCVD与RF-PECVD复合技术制备微晶硅薄膜的性能 期刊论文
中国表面工程, 2012, 卷号: 25, 页码: 84-88
作者: 孙晓飞; 张贵锋; 侯晓多; 冯煜东
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| InGaN基近紫外多量子阱的分子束外延生长及其快速热退火效应研究 学位论文
2009
作者: 罗世俊
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| AlN薄膜的分子束外延生长 学位论文
2007
作者: 刘博
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| 射频放电辅助热丝CVD金刚石生长速率的研究 期刊论文
人工晶体学报, 2007, 卷号: 第36卷 第2期, 页码: 460-463
作者: 孙心瑗; 周灵平; 李宇农; 易学华; 陈本敬
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| 立方氮化硼薄膜的生长特性与粘附性研究 期刊论文
物理学报/Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica, 1998, 卷号: 47, 期号: 5, 页码: 871-875
作者: 马锡英; 岳金顺; 贺德衍; 陈光华
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| 直流热等离子体低压高速率合成金刚石薄膜 期刊论文
兰州大学学报, 1991, 期号: 2, 页码: 183-184
作者: 王万录; 高锦英; 廖克俊; 任罡; 邱文元
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