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“化学平衡图像分析”的教学处理 期刊论文
2018, 卷号: 第28期, 页码: 36-37
作者:  唐靖武;  陈红
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光子辐照诱导自由基降解有机碳和有机氮污染物的机制研究 学位论文
: 上海大学, 2017
作者:  吕更新[1]
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2019/04/24
轻质油注空气低温氧化反应规律 期刊论文
承德石油高等专科学校学报, 2016, 卷号: 18, 页码: 25-30
作者:  周平
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/03
丁酸甲酯与HO2自由基反应化学动力学研究 会议论文
2015年中国工程热物理学会燃烧学学术年会, 2015
作者:  陈沁雪;  张李东;  张鹏
收藏  |  浏览/下载:65/0  |  提交时间:2015/12/31
钢筋混凝土剪力墙考虑动力效应的恢复力模型 期刊论文
建筑结构学报, 2015, 卷号: 36, 页码: 109-116
作者:  李宏男;  赵汝男
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/09
热化学储能体系Ca(OH)2/CaO的分解动力学 (EI收录) 期刊论文
《华南理工大学学报:自然科学版》, 2014, 卷号: 42, 页码: 75-81
作者:  龙新峰[1];  吴娟[1]
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/04/25
正丁烷着火动力学模型分析 会议论文
中国工程热物理学会-燃烧学, 2013
于亚薇; 钟北京
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2013/11/29
华北典型农作物秸秆燃烧动力学特性分析 会议论文
中国工程热物理学会, 2012
刘联胜; 苟湘; 孟哲; 帖青敏; 陈运启; 高彦华
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2013/03/21
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
2,4-二硝基甲苯加氢反应历程及操作条件对反应速率的影响 期刊论文
兰州理工大学学报, 2008, 期号: 2008年03期, 页码: 60-64
作者:  李贵贤;  司海娟;  马建军;  杨磊;  王晓宁
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/11/13


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