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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   基于时滞与模糊滑模的风洞模型振动控制研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  张家昆 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 振动控制  压电陶瓷促动器  风洞试验  时滞  模糊滑模控制   展开式拼接望远镜粗共焦共相调整系统设计 期刊论文 光电工程, 2016, 期号: 7, 页码: 52-58+66 作者:  王刚;  齐荔荔;  武国梁;  王磊 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2017/09/17 展开式拼接望远镜  粗共焦共位相  压电促动器  三自由度平台   基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜研制进展 期刊论文 激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 31-40 林旭东; 刘欣悦; 王建立; 王亮; 卫沛锋 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/04/17 自适应光学  学光学设计  变形镜  压电陶瓷促动器  连续镜面  波前校正器   南极低温条件下镜面支撑技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院大学, 2014 韩晓龙 收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2014/06/22 力促动器  镜面支撑  低温环境  压电陶瓷材料