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上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2006 [4]
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偏离标准条件的OPC 模型以及OPC 相关的验证方法
学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
陆梅君
收藏
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2012/03/06
光学邻近效应修正
偏离标准条件
制程窗口
光刻规则检查
设计规则
带有复合掺杂层集电区的InP/InGaAs/InP DHBT直流特性分析
期刊论文
半导体学报, 2006, 期号: 08
孙浩
;
齐鸣
;
徐安怀
;
艾立鹍
;
苏树兵
;
刘新宇
;
刘训春
;
钱鹤
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2012/01/06
偏离最佳
光学邻近效应
制程窗口
基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法
期刊论文
机械工程学报, 2006, 期号: 09
刘广军
;
王安麟
;
姜涛
;
焦继伟
;
张正福
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/01/06
可制造性设计
光刻规则检查
光学邻近效应修正
设计规则
制程窗口
偏离标准条件的OPC模型以及OPC相关的验证方法
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
陆梅君
收藏
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浏览/下载:47/0
  |  
提交时间:2012/03/06
光学邻近效应修正
偏离标准条件
制程窗口
光刻规则检查
设计规则
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