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上海光学精密机械研究... [4]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2014 [4]
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熔石英亚表面缺陷的蚀刻和热处理研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
杨俊
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/28
熔石英
再沉积层
蚀刻
热处理
二次离子质谱
熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析
期刊论文
强激光与粒子束, 2014, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 72011
作者:
杨俊
;
易葵
;
魏朝阳
;
胡国行
;
崔辉
收藏
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浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2016/11/28
熔石英
再沉积层
蚀刻
二次离子质谱
熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析
期刊论文
强激光与粒子束, 2014, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 72011
作者:
杨俊
;
易葵
;
魏朝阳
;
胡国行
;
崔辉
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
熔石英
再沉积层
蚀刻
二次离子质谱
熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析
期刊论文
强激光与粒子束, 2014, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 72011
作者:
杨俊
;
易葵
;
魏朝阳
;
胡国行
;
崔辉
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提交时间:2016/11/25
熔石英
再沉积层
蚀刻
二次离子质谱
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