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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统 期刊论文 中国激光, 2017, 卷号: 44 作者:  尹广玥;  游利兵;  王庆胜;  褚状状;  陈亮 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/11/23 激光技术  线光束整形  光束均匀性  准分子激光退火  低温多晶硅制备   微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 期刊论文 核聚变与等离子体物理, 2012, 卷号: 032 - 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/10/26 电子回旋共振等离子体增强型化学气相沉积  低温  直接制备  多晶硅薄膜   用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜 期刊论文 物理学报, 2010, 卷号: 第59卷, 页码: 2775-2782 作者:  刘召军;  孟志国;  赵淑云;  郭海成;  吴春亚 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/03/01 自缓释  金属诱导横向晶化  多晶硅薄膜  低温制备与退火   多晶硅薄膜ECR-PECVD低温生长结构研究 学位论文 : 大连理工大学, 2008 作者:  邓婉婷 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/27 多晶硅薄膜  光电性能  制备成本  高光电转换  电子回旋共振  等离子体增强  化学气相沉积  低温生长结构   Cat-CVD方法低温制备多晶硅薄膜的技术研究 学位论文 硕士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2006 张玉 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2012/03/21 催化化学气相沉积  多晶硅  低温制备   化学源金属诱导多晶硅研究 期刊论文 物理学报, 2006, 卷号: 第55卷, 页码: 825-829 作者:  赵淑云;  吴春亚;  李娟;  刘建平;  张晓丹 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/01 金属诱导晶化  多晶硅薄膜  低温制备  退火处理