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| 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统 期刊论文 中国激光, 2017, 卷号: 44 作者: 尹广玥; 游利兵; 王庆胜; 褚状状; 陈亮
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| 微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 期刊论文 核聚变与等离子体物理, 2012, 卷号: 032 -
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| 用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜 期刊论文 物理学报, 2010, 卷号: 第59卷, 页码: 2775-2782 作者: 刘召军; 孟志国; 赵淑云; 郭海成; 吴春亚
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| 多晶硅薄膜ECR-PECVD低温生长结构研究 学位论文 : 大连理工大学, 2008 作者: 邓婉婷
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| Cat-CVD方法低温制备多晶硅薄膜的技术研究 学位论文 硕士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2006 张玉
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:59/0  |  提交时间:2012/03/21
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| 化学源金属诱导多晶硅研究 期刊论文 物理学报, 2006, 卷号: 第55卷, 页码: 825-829 作者: 赵淑云; 吴春亚; 李娟; 刘建平; 张晓丹
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