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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 反射式光栅亚微米级精度测量及纳米级细分技术研究 学位论文 2015 作者:  叶国永 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 微纳制造  亚微米级精度  纳米级分辨率  反射式光栅测量系统   提高离子束刻蚀亚微米光栅侧壁陡直度的方法 期刊论文 2010, 2010 孟祥峰; 李立峰; Meng Xiangfeng; Li Lifeng 收藏  |  浏览/下载：1/0