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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  宁锦华 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。   脉冲星自主导航概述 会议论文 2005年全国时间频率学术交流会, 中国西安, 2005 杨廷高; 南仁东; 金乘进; 甘恒谦 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/10/19 脉冲星  脉冲星钟  空间飞行器  定位导航|Abstract  脉冲星自转非常稳定  可以用作时间标准  许多脉冲星的空间位置  自行  距离  自转周期及导数  自转的初始相位等天体测量和天体物理参数都被精确测定。由于脉冲星能够同时提供时间信号和空间位置坐标  利用空间脉冲星网络的导航系统的开发研究受到重视。除甚长基线干涉测量之外  空间飞行器导航的传统方法只在沿飞行器的视线方向提供高精度  且当太阳位于空间飞行器与地球中间时根本无法实现导航。安装在空间飞行器上的脉冲星导航系统能够实现飞行器的自主导航  能给出空间飞行器相对于太阳系质心的三维坐标和飞行速度。射电脉冲星自主导航系统只适用于载荷量大的空间飞行器  而X射线脉冲星未来的适用范围可能非常广阔。讨论了脉冲星钟的模型和脉冲星导航系统的框架结构  介绍了脉冲星导航的基本原理和算法。目前  已发现射电脉冲星约1750颗  X射线脉冲星50余颗。利用脉冲星钟模型能高精度地预报脉冲星脉冲到达太阳系质心的时间  即在任何时刻  脉冲星相当于太阳系质心的相位是可以预报的。在空间飞行器上测量脉冲星脉冲的到达时间(即脉冲星自转相位测量)所得到的相位与该脉冲星相对于太阳系质心的相位(脉冲星钟预报的相位)之间的差值包含有空间飞行器的位置信息。通过空间飞行器上脉冲星导航系统对多颗脉冲星的计时观测(相位测量)  就能解算出观测时刻空间飞行器相对于太阳系质心的位置坐标。指出脉冲星导航系统采用的脉冲星探测器的性能决定了脉冲星相位的测量精度  这也是影响空间飞行器位置解算精度的关键因素。脉冲星导航观测采用的原子钟如果足够稳定  则空间飞行器位置的算法可以简化。在脉冲星导航系统计时观测接近微秒(μs)量级时  脉冲星视差  Shapiro和Einstein延迟的影响是不可忽略的。对于这样的脉冲星导航系统开发设计中的关键技术和应该进一步研究的主要问题进行了初步分析和讨论。   涡旋压缩机中主要结构参数及运行参数的最佳选择 期刊论文 压缩机技术, 1998, 期号: 2, 页码: 36-38,44 作者:  孙存慧;  屈宗长;  王迪生 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/07 转速  主要结构参数  涡旋压缩机  优化   压缩机簧片阀工程设计新技术 期刊论文 流体工程, 1991, 期号: 9, 页码: 15-19,66 - 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2020/01/08 有效通流面积  阀片升程  气阀运动规律  制冷压缩机  升程限制器  空气压缩机  理论与实验研究  阀隙  主要结构参数  刚性系数   太阳能平板型热水器主要结构参数的最佳化 期刊论文 太阳能学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 1, 页码: 67-75 作者:  方铎荣 收藏  |  浏览/下载：979/50  |  提交时间：2009/08/03 集热器面积  主要结构参数  热水器  平板型  最佳化  太阳能学报  最佳值  优值  寻优计算