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山东大学 [3]
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期刊论文 [3]
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2014 [1]
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Heating and material removal process in hybrid laser-waterjet ablation of silicon substrates
期刊论文
International Journal of Machine Tools & Manufacture: Design, research and application, 2014, 页码: 1-16
作者:
V. Tangwarodomnukun
;
J. Wang
;
C. Z. Huang
;
H. T. Zhu
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提交时间:2019/12/17
Modeling
Hybrid process
Micromachining
Laser
Waterjet
Silicon wafer
An investigation of hybrid laser-waterjet ablation of silicon substrates
期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS & MANUFACTURE, 2012, 卷号: 56, 页码: 39-49
作者:
Tangwarodomnukun, V.
;
Wang, J.
;
Huang, C. Z.
;
Zhu, H. T.
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  |  
浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/23
Hybrid process
Micromachining
Laser
Waterjet
Silicon wafer
An investigation of hybrid laser-waterjet ablation of silicon substrates
期刊论文
International Journal of Machine Tools & Manufacture: Design, research and application, 2012, 页码: 39-49
作者:
V. Tangwarodomnukun
;
J. Wang
;
C. Z. Huang
;
H. T. Zhu
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提交时间:2019/12/23
Hybrid process
Micromachining
Laser
Water jet
Silicon wafer
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