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Method for sputtering both surfaces and supporting jig 专利
专利号: JP1984006373A, 申请日期: 1984-01-13, 公开日期: 1984-01-13
作者:  SATOU AKIHIKO;  SHIGIYOU YOSHIHARU;  TAKEI ICHIROU;  INABA KEIZOU;  OGIWARA SEIICHIROU
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