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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Modeling multilayer coating profiles with defects on EUV collector with grating 期刊论文 Optical Engineering, 2019, 卷号: 58, 期号: 10, 页码: 9 作者:  S.Z.Sun;  C.S.Jin;  B.Yu;  T.Guo;  S.Yao 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2020/08/24 EUV collector with grating,multilayer coating profile,coating defects,deposition model,EUV reflectance,lithography,Optics