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用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法,集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法 专利
专利号: CN105899938A, 申请日期: 2016-08-24, 公开日期: 2016-08-24
作者:  R.菲克斯;  R.哈特克;  J.贝因特纳
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