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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Analytical model of the electrostatic scratch drive actuator 会议论文 HDP'07: Proceedings of the 2007 International Symposium on High Density Packaging and Microsystem Integration, 2007-06-26 作者:  Maohua, Yu[1];  Xiaojing, Wang[2];  Mingchun, Xic[3];  Guoliang, Wang[4];  Minliang, Zhang[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/05/10 scratch drive actuator  surface micromachining  processing  analytical model  MEMS