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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 A Deterministic Semi-Analytical Model for the Contact of a Wafer and a Rough Bi-Layer Pad in CMP 期刊论文 2013, 卷号: 2, 页码: P368-P374 作者:  Yu, Chengjiao[1];  Wang, Zhanjiang[2];  Sun, Fred[3];  Lu, Shaoning[3];  Keer, Leon M.[1] 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/11/30