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用于光电功能器件的金属波导微腔光耦合结构的工艺制程 专利
专利号: 201110082811.7, 申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-12-20
作者:  1陆卫 2 王旺平 3李宁 4李志锋 5陈效双 6俞立明 7张波 8李天信 9陈平平 10甄红楼 11王少伟
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