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科研机构
四川大学 [5]
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期刊论文 [4]
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2007 [1]
2006 [3]
2005 [1]
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用等腰三角形位相光栅进行相干光并束的研究
期刊论文
激光技术, 2007, 卷号: 第6期, 页码: 561-564
作者:
王景全
;
罗铂靓
;
张志友
;
方亮
;
杜惊雷
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提交时间:2019/03/28
衍射光栅
相干并束
等腰三角形位相光栅
纵向随机误差
高度误差
横向误差
相位光栅的设计及其在激光束相干合成中的应用
学位论文
: 四川大学, 2006
作者:
罗铂靓
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提交时间:2019/04/19
衍射光学
惯性约束聚变
相位光栅
激光束相干叠加
抗蚀剂AZ4562曝光参数的变化趋势分析
期刊论文
固体电子学研究与进展, 2006, 卷号: 第4期, 页码: P550-554
作者:
罗铂靓
;
杜惊雷
;
刘世杰
;
郭小伟
;
马延琴
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提交时间:2019/02/28
厚层抗蚀剂 曝光模型 曝光参数 趋势面分析法
用二元位相光栅进行激光束叠加的研究
期刊论文
激光技术, 2006, 卷号: 第4期, 页码: P381
作者:
罗铂靓
;
王成程
;
杜惊雷
;
马驰
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提交时间:2019/02/28
光学设计与制造
光束叠加
二元位相光栅
遗传模拟退火算法
误差分析
厚层抗蚀剂曝光模型及其参数测量
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 第5期, 页码: P1065-1071
作者:
刘世杰
;
杜惊雷
;
段茜
;
罗铂靓
;
唐雄贵
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提交时间:2019/02/28
厚层抗蚀剂 光刻 曝光 增强Dill模型 曝光参数
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