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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高深宽比石英结构的NLD刻蚀 期刊论文 微纳电子技术, 2017, 页码: 645-649 作者:  吴亚宁[1];  张伟[2];  王逸群[3];  黄健[4];  缪小虎[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/04/24 磁中性环路放电(NLD)等离子体  Ar+C4F8  石英  高深宽比  刻蚀