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科研机构
江苏大学 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [2]
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分子吸收光谱在半导体薄膜化学气相沉积中的应用
期刊论文
化工进展, 2015, 期号: 11, 页码: 3979-3984,4000
作者:
汪文鹄[1]
;
左然[2]
;
刘鹏[3]
;
童玉珍[4]
;
张国义[5]
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提交时间:2019/12/24
化学气相沉积
气体浓度
紫外-可见吸收光谱
红外光谱
MOCVD生长Ⅲ族氮化物的热扩散和气相反应速率模拟研究
学位论文
: 江苏大学, 2015
作者:
汪文鹄[1]
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提交时间:2019/12/24
氮化物
金属有机化学气相沉积
热扩散性能
化学反应速率
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