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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化 期刊论文 应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582 作者:  李杰[1,2];  林妩媚[1];  廖志杰[1] 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/05/06 光学设计  偏振像差  薄膜光学  Jones光瞳  成像对比度