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超大规模集成电路的制造方法 专利
专利号: CN1281254, 申请日期: 2000-08-29, 公开日期: 2001-01-24, 2010-11-26
作者:  仇玉林;  陈晓东;  旷章曲;  朱亚江;  孟津棣
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