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激光诱发SiH↓4+CH↓4等离子体的发射光谱 期刊论文
光谱学与光谱分析, 1995, 卷号: 15, 期号: 1, 页码: 65
作者:  韩理[1];  于威[2];  黄焯林[3];  张连水[4];  李晓苇[5]
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SiH↓4激光等离子体内H谱线的线型研究 期刊论文
物理学报, 1993, 卷号: 42, 期号: 1, 页码: 58
作者:  李晓苇[1];  傅广生[2];  韩理[3];  张连水[4];  吕福润[5]
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SiH_4激光等离子体内H谱线的线型研究 期刊论文
光电子·激光, 1991, 期号: 03, 页码: 150-151
作者:  王金国[1];  李晓苇[2];  傅广生[3];  张连水[4];  韩理[5]
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SiH↓4激光等离子体内自由基反应动力学研究 期刊论文
物理学报, 1991, 卷号: 40, 期号: 12, 页码: 2024
作者:  傅广生[1];  王金国[2];  李晓苇[3];  韩理[4];  吕福润[5]
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SiH1@4@激光等离体体OES研究 期刊论文
光谱学与光谱分析, 1990, 卷号: 10, 期号: 6, 页码: 5
作者:  李晓苇[1];  董丽芳[2];  傅广生[3];  张连水[4];  韩理[5]
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光栅选频无氦重复频率TEA CO_2激光器 期刊论文
激光杂志, 1990, 期号: 02, 页码: 82-85
作者:  张连水[1];  韩理[2];  李晓苇[3];  吕福润[4];  董丽芳[5]
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SiH自由基A~2Δ—X~2∏跃迁光谱研究 期刊论文
量子电子学, 1990, 期号: 04, 页码: 339-343
作者:  李晓苇[1];  王金国[2];  韩理[3];  吕福润[4];  付广生[5]
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TEA CO1@2@激光诱发SiH1@4@等离子体发光动力学研究 期刊论文
半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 3, 页码: 193
作者:  傅广生[1];  董丽芳[2];  李晓苇[3];  韩理[4];  张连水[5]
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快速脉冲集成电路激光电源 期刊论文
激光杂志, 1990, 期号: 01, 页码: 22-25
作者:  韩理[1];  李晓苇[2];  张连水[3];  吕福润[4];  傅广生[5]
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激光等离子体淀积硅薄膜过程动力学研究 期刊论文
半导体学报, 1989, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 280
作者:  董丽芳[1];  傅广生[2];  李晓苇[3];  韩理[4];  张连水[5]
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