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科研机构
上海大学 [4]
内容类型
期刊论文 [2]
专利 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2007 [3]
2006 [1]
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氧化铝/聚丙烯酰胺复合磨粒的制备及其抛光性能的研究
学位论文
: 上海大学, 2007
作者:
卢海参[1]
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/05/06
化学机械抛光
氧化铝
聚丙烯酰胺复合磨粒
玻璃基片
抛光性能
超细氧化铝表面改性及其抛光特性
期刊论文
润滑与密封, 2007, 卷号: 32, 页码: 102-104,107
作者:
卢海参[1]
;
雷红[2]
;
张泽芳[3]
;
肖保其[4]
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/05/10
化学机械抛光(CMP)
玻璃基片
表面改性
超细氧化铝
氧化铝复合磨粒的抛光特性研究
期刊论文
润滑与密封, 2007, 卷号: 32, 页码: 82-85
作者:
雷红[1]
;
卢海参[2]
;
严琼林[3]
;
褚风灵[4]
;
丘海能[5]
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2019/05/10
化学机械抛光(CMP)
氧化铝复合磨粒
玻璃基片
氧化铝/氧化硅复合磨粒的制备方法
专利
申请日期: 2006-01-01,
作者:
雷红[1]
;
张鹏珍[2]
;
卢海参[3]
;
张泽芳[4]
;
肖保其[5]
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提交时间:2019/05/10
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