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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Stress control of silicon nitride films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition Stress control of silicon nitride films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文 2016, 卷号: 0, 页码: 285-289 作者:  李东玲[1,2];  冯小飞[3];  温志渝[1,2];  尚正国[1,2];  佘引[1,2] 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/11/28 MEMS压电阵列振动能量收集器 The MEMS Vibration Energy Harvester with Piezoelectric Array 期刊论文 2014, 卷号: 27, 页码: 1033-1037 作者:  佘引[1,2,3];  温志渝[1,2,3];  赵兴强[1,2,3];  邓丽城[1,2,3];  尚正国[1,2,3] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/28