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Kinematics analysis and performance testing of 6-RR-RP-RR parallel platform with offset RR-hinges based on Denavit-Hartenberg parameter method
期刊论文
Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C: Journal of Mechanical Engineering Science, 2021, 卷号: 235, 期号: 18, 页码: 3519-3533
作者:
Y. Zhang
;
H.-S.-A.-Q.-E. Han
;
Z.-B. Xu
;
C.-Y. Han
;
Y. Y
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2022/06/13
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
方伟
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浏览/下载:132/0
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提交时间:2016/11/28
Ptychography
PIE
相位恢复
波像差
光刻投影物镜
极紫外光刻
光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
李永
收藏
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浏览/下载:79/0
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提交时间:2016/11/28
干涉测量
子孔径拼接
误差累积
高反射率平面
45°平面镜
Restraint of tool path ripple based on the optimization of tool step size for sub-aperture deterministic polishing
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1007/s00170-014-6223-7, 2014
Wang,
;
Yang, W.
;
Ye, S.
;
Wang, Zhenzhong
;
Yang, P.
;
Peng, Y.
;
Guo, Y.
;
Xu, Qiao
;
王程
;
杨炜
;
王振忠
;
杨平
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/07/22
Experiments
Finishing
Method of moments
Subsidence
Dwell time calculation for computer-controlled large-tool
会议论文
Proceedings of SPIE: 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Large Mirrors and Telescopes, 2012
作者:
Fan, Bin
;
James, H.Burge
;
Buddy, Martin
;
Zeng, Zhige
;
Li, Xiaojin
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/11/24
Investigation of Sub-aperture Polish Techniques for Manufacturing Astronomical Mirror
会议论文
San Diego, California, USA, 2010-6-27
Zheng Yi
;
Li Xin-nan
;
Guo Wei-yuan
;
Dong Zhi-chuan
;
Liang Bin
;
Jiang Zi-bo
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/01/03
Aspheric mirror
optical manufacture
computer control optical surface
ion beam figuring
Design of a six-axis high precision machine tool and its application in machining aspherical optical mirrors
期刊论文
2010, 2010
Cheng, HB
;
Feng, ZJ
;
Cheng, K
;
Wang, YW
收藏
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浏览/下载:8/0
Design of 2.5m Optical Fabrication Machine for Astronomical Mirrors
会议论文
Marseille, France, 2008-6-23
Yi Zheng
;
Ying Li
;
Da-xing Wang
;
Bin Liang
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/01/01
Optical fabrication machine
aspherical mirror
computer control
sub-aperture tool
active stressed lap
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