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Nanofabrication of 50 nm zone plates through e-beam lithography with local proximity effect correction for x-ray imaging 期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2020, 卷号: 29, 期号: 4, 页码: -
作者:  Zhu, JY;  Zhang, SC;  Xie, SS;  Xu, C;  Zhang, LJ
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2021/09/06
Moire fringe alignment using composite circular-line gratings for proximity lithography 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2015, 卷号: 23, 期号: 16, 页码: 20905-20915
作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Jiang, Wenbo;  Luo, Liang
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/12/04
Simulation and experimental study of aspect ratio limitation in Fresnel zone plates for hard-x-ray optics 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2015, 卷号: 54, 期号: 32, 页码: 9630—9636
作者:  Liu, JP;  Shao, JH;  Zhang, SC;  Ma, YQ;  Taksatorn, N
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/03/04
Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography 期刊论文
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4
作者:  Wang, Nan;  Jiang, Wei;  Zhu, Jiangping;  Tang, Yan;  Yan, Wei
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/07/10
Experimental study of Talbot imaging moire-based lithography alignment method 期刊论文
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2014, 卷号: 58, 页码: 54-59
作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Zhou, Pei;  Yu, Junsheng
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10
Moire interferometry with high alignment resolution in proximity lithographic process 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2014, 卷号: 53, 期号: 5, 页码: 951-959
作者:  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Fu, Yongqi;  Xu, Xiangmin;  Yang, Jun
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10
A modified alignment method based on four-quadrant-grating moire for proximity lithography 期刊论文
OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 17, 页码: 4868-4872
作者:  Di, Chengliang;  Zhu, Jiangping;  Yan, Wei;  Hu, Song
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/07/10
Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473
作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17
Alignment method based on matched dual-grating moire fringe for proximity lithography 期刊论文
OPTICAL ENGINEERING, 2012, 卷号: 51, 期号: 11
作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/07/10
Positioning scheme based on grating modulation and phase imaging in lithography 会议论文
Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2010
作者:  Shaolin Zhou;  Feng Xu;  Song Hu;  Xiaoping Tang
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